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IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器

德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，ZX推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的IDS型號皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于極端環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有極高精度與極高采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無縫連接的理想產(chǎn)品。產(chǎn)品在工業(yè)應(yīng)用中具有廣泛范圍前景，包括閉環(huán)位移反饋系統(tǒng)搭建、振動測量、軸承誤差測量，實時位移測量等。 

 德國國家計量院（PTB）對IDS3010激光干涉儀的精度進行了認證。值得指出，在0-3米的工作距離內(nèi)， IDS激光干涉儀的的測量數(shù)據(jù)與德國計量院激光干涉儀數(shù)據(jù)完全一致。德國計量院的認證使得IDS激光干涉儀的測量數(shù)據(jù)滿足德國國家標(biāo)準(zhǔn)，使得IDS更加理想的成為位移臺鑒定與機器加工等領(lǐng)域的測量工具。

IDS3010激光干涉儀產(chǎn)品特點 

+  設(shè)計緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業(yè)集成

+  工業(yè)化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+  測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

+  環(huán)境補償單元，不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測量精度

+  校正簡單，配備可見激光（650nm）用于校正測量激光（1530nm）

+  測量精度高，探測器分辨率高達1 pm

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=精密制造

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=精密測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=質(zhì)量保證

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——超高精度非接觸式軸誤差測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——激光干涉測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——納米平移臺質(zhì)量控制方案

IDS3010皮米精度激光干涉儀激光位移傳感器——主軸轉(zhuǎn)動誤差控制